Prvi se prema strukturi može podijeliti na mehaničku vakuumsku pumpu i mlaznu vakuum pumpu. Svi mehanički pokreti (rotirajući ili klizni) koji se koriste u raznim vakuumskim uređajima za promjenu volumena usisne pumpe pumpe i vakuum pumpe obično se nazivaju mehaničkim vakuumskim pumpama. Mehanička vakuumska pumpa zapremine mijenja radni volumen komore pumpe mehaničkim kretanjem da bi se postigao efekat mehaničke zapreminske vakuumske pumpe. Ove pumpe uključuju vakuumske pumpe sa rotacijom, rotirajuće mehaničke pumpe (uključujući rotacijske pumpe, vijčane pumpe, korijenske pumpe, pumpe sa tekućim prstenom itd.). Ova vrsta pumpe koristi se pored mehaničke pumpe.
Drugo, prema principu rada, može se podijeliti na vakuum pumpu za dovod plina i vakuumsku pumpu za hvatanje gasa. Pumpa za dovod plina cilj je koji omogućava neprekidno uvlačenje i doprezanje plina da bi dostigao usisnu vakuumsku pumpu. Postoje dvije vrste vakuumskih pumpi: vakuumske pumpe promjenljive zapremine i pumpe za prijenos zamaha. Plinska hvatajuća pumpa je vakuum pumpa koja apsorbira ili aglomerira molekule plina na unutrašnjoj površini pumpe, smanjujući na taj način količinu molekula plina u spremniku i postiže svrhu usisavanja. Klipne vakuumske pumpe, vakuumske pumpe s rotacijskim krilima, vakuumske pumpe, vijčane vakuumske pumpe, vakuumske pumpe, difuzne pumpe za ubrizgavanje i nekoliko drugih tipičnih vrsta.
